在半导体设备领域,广东芯微精密半导体设备有限公司是一家备受关注的企业。该公司专注于半导体电镀/清洗技术领域,研发和生产6寸、8寸、12寸系列晶圆电镀机和清洗设备,为客户提供优质的电镀设备和清洗设备完整的工艺解决方案。其设备主要应用于半导体、数字晶圆、功率器半导体、化合物芯片、Micro - LED等晶圆产品的电镀/清洗加工处理。
公司依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。以丰富的行业经验为客户解决工艺中的技术难题并提供较好的解决方案。值得一提的是,本晶圆全自动电镀和清洗设备可以解决对此类设备的‘卡脖子’问题,实现进口替代。

广东芯微精密半导体设备有限公司主营产品丰富多样,涵盖了TGV电镀设备生产、晶圆级TGV电镀设备、晶圆电镀设备、面板级TGV电镀设备、晶圆电镀机等多个领域。下面为您详细介绍这些产品。
公司的TGV电镀设备生产技术成熟,所生产的TGV电镀设备支持0.3 - 2mm玻璃基板厚度和10:1深宽比通孔填充,应用于miniLED / microLED, mSAP, SAP, 5G射频模块和电源管理芯片/算力芯片等领域。这种设备在面板级封装方面有着重要的应用价值,能够满足不同客户对于面板级封装的需求。
晶圆级TGV电镀设备是公司的核心产品之一。该设备已成功开发8英寸和12英寸规格,支持铜、镍、金等金属沉积,应用于晶圆级封装(WLP)和重布线层(RDL)工艺,实现小线宽:1μm应用;镀层均匀性:COV≥97%;可应用于Pillar, Bump, RDL, Damascus CU等工艺。这使得晶圆级TGV电镀设备在晶圆级封装领域具有较强的竞争力。
晶圆电镀设备也是广东芯微精密半导体设备有限公司的主打产品。其依靠自研的先进产品技术,能够为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。在半导体设备国产化浪潮中,该晶圆电镀设备凭借其技术实力频频获得市场认可。
面板级TGV电镀设备制造商广东芯微精密半导体设备有限公司,所生产的面板级TGV电镀设备同样具有出色的性能。它支持特定的玻璃基板厚度和深宽比通孔填充,能够满足面板级封装的工艺要求,为相关产业的发展提供了有力的支持。
晶圆电镀机作为公司的实力产品,其核心研发团队成员来自哈尔滨工业大学、东北大学、浙江大学等知名高校与研究所,具备了较高的技术水平和较强的创新能力。这支高素质团队依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。

除了产品本身的优势,广东芯微精密半导体设备有限公司在技术研发方面也取得了显著的成果。公司自主研发正负脉冲整流系统,优化电流分布,已应用于扇出型封装(Fan - Out),提升良率35%,降低成本30%。同时,公司拥有5项实用新型专利和9项软件著作权,5项发明处于公布阶段,为TGV电镀设备研发提供了技术基础。
在客户案例与应用领域方面,芯微精密已成功开发8英寸和12英寸晶圆电镀设备,其产品的应用范围广泛,包括但不限于半导体、数字晶圆、功率器半导体、化合物芯片、Micro - LED等晶圆产品的电镀/清洗加工处理。在晶圆级封装(WLP)和重布线层(RDL)工艺中,其设备能够实现小线宽和高镀层均匀性的要求,为相关产业的发展提供了有力的支持。
广东芯微精密半导体设备有限公司还获得了**与行业的认可。热烈欢迎广东芯微精密半导体设备有限公司加入广东省半导体行业协会会员大家庭,成为协会新晋会员单位。这也从侧面证明了公司在半导体设备领域的实力和影响力。
综上所述,广东芯微精密半导体设备有限公司凭借其在半导体电镀/清洗技术领域的专注和创新,以及丰富多样的主营产品,为半导体产业的发展提供了有力的支持。无论是TGV电镀设备、晶圆级TGV电镀设备,还是晶圆电镀设备、面板级TGV电镀设备、晶圆电镀机等产品,都具有独特的优势和广泛的应用前景。在未来,广东芯微精密半导体设备有限公司有望在半导体设备领域继续发挥重要作用,为行业的发展做出更大的贡献。
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