Anybus Communicator助力CVD薄膜制备设备接入西门子PLC

某CVD薄膜制备设备制造商因倍福PLC货期长、成本高，需兼容西门子方案。通过采用Anybus Communicator ABC3113-A，成功将设备中约36台质量流量计及阀岛的EtherCAT接口转换为PROFINET协议，实现与西门子S7-1500的稳定通信。该方案不仅确保了设备快速上市、稳定运行，更优化了供应链灵活性与成本控制。

前言

CVD 薄膜制备设备是指用于化学气相沉积（CVD）过程的设备，其在基材表面沉积薄膜或涂层，是半导体制造中的关键设备。随着市场需求和技术发展不断增长，该设备的重要性日益凸显。设备通常包括反应室、气体输送系统、真空系统、控制系统和废气处理系统。控制系统一般选用PLC 作为主控装置，而在客户现场，控制系统内子设备（例如质量流量计和阀岛）的通信接口协议为EtherCAT。这使得客户的主站方案选择非常受限，必须使用EtherCAT 主站方案，如倍福PLC。

然而，薄膜制备量产后，倍福PLC 的货期普遍较长，且价格较高。因此，客户希望选择西门子产品作为兼容方案，以满足其对性价比和交货期的要求。这一选择不仅能够优化成本，还能确保生产的持续性和设备的高效运行。

客户面临的通信挑战

• 如何将EtherCAT 协议转换成PROFINET 协议，让设备与西门子PLC 通信。
• 半导体设备要求非常严苛，需要稳定可靠的通信解决方案。
• 开发周期短，产品需快速面向市场。
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  HMS解决方案
  经过多种方案对比，客户最终选择了Anybus Communicator ABC3113-A 产品。这一产品成功实现了薄膜制备设备控制系统中质量流量计（约36 台）和阀岛与西门子S7-1500 的通信。其基本架构图如下所示：

HMS方案特点

超强性能，稳定可靠！

• 最小循环时间1ms
• 可连接多达24个EtherCAT从设备
• 在线监控EtherCAT从设备状态

宽温参数和大数据量，专门针对工业应用！

• 工作温度-25℃ 至 +70℃
• 双向各传输多达 1024 字节的数据

成果ABC3113-A 让客户CVD 薄膜制备设备快速上市，并在现场稳定、可靠运行。因为既可以选择倍福方案，又可以选择西门子方案，客户供应货期和成本都得到了非常好的优化，截止目前客户已成功出货数台CVD 薄膜制备设备。

方案成果：

• 薄膜制备设备轻松兼容倍福和西门子方案
• 主控PLC 可选，客户轻松应对倍福产品货期问题
• 让客户专注于产品的核心竞争力，而不是网络连接