低温等离子体化学净化是利用高能电子与气体分子（或原子）发生非弹性碰撞，将能量转换成基态分子（或原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程，使气体处于活化状态。电子能量小于10eV时，分子键断裂，污染物分解。例如低温等离子体技术去除苯系物气体的基本原理为：当低温等离子的电子能量大于苯系物气体分子的化学键建能时，分子发生断裂而分解，同时高能电子激发产生0.和.OH等自由基。由于0.和.OH等自由基具有很强的氧化性，最终可将苯系物气体转化为一氧化碳、二氧化碳和水。低温等离子体能够降解脂肪族、芳香族、氯化物、氯化铵无、炔类化合物、含氮化合物等挥发性有机物。
2. 低温等离子体协同吸附技术
低温等离子体技术处理VOCS技术存在去除率不够高，易产生二次污染等缺点。将低温等离子体技术与吸附技术结合可以有效克服上述问题，提高其在工业中运用的可行性。低温等离子体结合吸附的实现方式有两种：一体式（合并在单个单元内处理）；分离式（两个单元分别处理）。
油烟净化器为四一六级式静电吸附型，用来去除细微粒径的碳氢化合物和其它空气中的杂粒，它的四一六级式是指电离段与收集段，每个电离段由一系列齿片组成，安装在一系列地板中间，并通给高压直流电。大气中的微粒在通过电离器的强力静电场时，被电离并带有正或负电荷。
每个收集段由很多数量的平行板组成，通以高压直流电（极性与电离器一致，但电压减半）以形成电场，带电微粒被接地板吸引的同时也受到带电板的驱赶。正因为如此，当气流中含有带电微粒时，可以被高效去除。
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